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磁控溅射镀膜,材料是多晶,XRD会不会出现晶面择优生长,或有的晶面不出现呢?
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carlxw
木虫
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[交流]
磁控溅射镀膜,材料是多晶,XRD会不会出现晶面择优生长,或有的晶面不出现呢?
图1是测得,
图2是标准卡,
25°左右和其他有的峰 会不会是没出现呢?还是根本就不对?
[
Last edited by carlxw on 2011-4-27 at 11:39
]
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1楼
2011-04-27 11:37:01
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匿名
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(著名写手)
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在线: 100.2小时
虫号: 0
★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖
carlxw(金币+2): 我也觉得对的不好,可是PDF卡都找遍了,就这个好点,唉 2011-04-29 15:32:59
本帖仅楼主可见
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3楼
2011-04-29 13:07:22
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申请物理EPI
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hrandy
金虫
(正式写手)
应助: 8
(幼儿园)
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帖子: 344
在线: 187小时
虫号: 577250
★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖
carlxw(金币+1): 是的 谢谢 2011-04-29 15:34:08
会的,有可能会有取向峰。
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2楼
2011-04-29 08:50:59
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carlxw
木虫
(正式写手)
应助: 0
(幼儿园)
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帖子: 469
在线: 130.7小时
虫号: 791371
还有牛人指点一二没啊?
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4楼
2011-04-30 22:36:00
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zhangzhiguang
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虫号: 492270
★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖
carlxw(金币+2): 谢谢。你觉得我这个图,能说有这个物相么? 2011-05-01 17:38:06
峰的位置有偏差很正常,因为磁控溅射,晶体内会有应力.另外,多晶在XRD测试时也会出现消峰现象,这个根据角度和卡片以及就可以知道,但不可能出现很多峰不出现
[
Last edited by zhangzhiguang on 2011-5-1 at 17:02
]
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5楼
2011-05-01 16:58:33
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