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thphysical

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片的清洗

想知道大家用硅片最衬底生长是硅片是怎么处理的
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马润恬

银虫 (小有名气)

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★ ★
nuaajsh(金币+2): 鼓励交流 2011-04-30 20:39:12
我们实验室师姐们使用的最有效的方法是:先用自来水冲洗,再用洗衣粉水浸泡过夜,再用自来水。蒸馏水漂洗,然后用丙酮超声清洗,再用蒸馏水,三次水淋洗,用氮气吹干就行了。这样洗的效果非常好。希望能对你有所帮助。
7楼2011-04-28 12:16:27
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global_lin

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-04-28 12:14:49
yingli09: 我想请教下,如果我想让二氧化硅硅层加厚,怎么处理?谢谢 2011-05-02 11:30:01
yingli09(金币+2): 谢谢应助!有相关文献最后给LZ分享下! 2011-05-02 11:30:37
引用回帖:
Originally posted by thphysical at 2011-04-27 09:32:48:
想知道大家用硅片最衬底生长是硅片是怎么处理的

硅片作衬底是吧,先用加表面活性剂的自来水超声15min,而后用丙酮超声15min,然后用乙醇超声15min,最后用去离子水超声15min,真空干燥(也可以在空气中干燥,真空干燥主要是防止干燥过程沾上空气中的尘埃粒子),备用。
2楼2011-04-27 15:44:38
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global_lin

金虫 (小有名气)

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wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-04-28 12:14:58
呵呵,上面说到的表面活性剂指的是洗衣粉或洗洁剂。
3楼2011-04-27 15:47:42
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global_lin

金虫 (小有名气)

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wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-04-28 12:15:20
引用回帖:
Originally posted by thphysical at 2011-04-28 08:57:28:
怎么刻蚀呢

不知道你要在上面长什么类型的材料。如果你要在上面生长纳米颗粒,直接用氢氟酸或是氢氧化钠溶液,轻微刻蚀(控制浓度)就ok了,如果你要在上面生长纳米线阵列之类的,那么要求就比较高,光刻机的效果比较好。就想刻光盘一样。。。。都是纳米级的凹凸不平的小巣,肉眼看起来是平的,实际上是凹凸不平的。
6楼2011-04-28 12:00:21
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global_lin

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


thphysical(金币+2): 好 2011-04-28 08:56:17
thphysical(金币+8): 2011-04-28 08:56:27
wandaohzl(金币+1): 好 2011-04-28 12:15:10
引用回帖:
Originally posted by thphysical at 2011-04-27 09:32:48:
想知道大家用硅片最衬底生长是硅片是怎么处理的

若是你要在上面生长薄膜,并且还要在较高温度下使用,建议你在你所用的最高温度下先对硅衬底进行退火处理。若是你要在上面生长纳米颗粒、纳米线之类的,就对其进行刻蚀。。。。。
4楼2011-04-27 15:53:59
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thphysical

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by global_lin at 2011-04-27 15:53:59:
若是你要在上面生长薄膜,并且还要在较高温度下使用,建议你在你所用的最高温度下先对硅衬底进行退火处理。若是你要在上面生长纳米颗粒、纳米线之类的,就对其进行刻蚀。。。。。

怎么刻蚀呢
5楼2011-04-28 08:57:28
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thphysical

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by 马润恬 at 2011-04-28 12:16:27:
我们实验室师姐们使用的最有效的方法是:先用自来水冲洗,再用洗衣粉水浸泡过夜,再用自来水。蒸馏水漂洗,然后用丙酮超声清洗,再用蒸馏水,三次水淋洗,用氮气吹干就行了。这样洗的效果非常好。希望能对你有所帮 ...

好的谢谢你啊
8楼2011-04-29 22:02:33
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thphysical

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by global_lin at 2011-04-28 12:00:21:
不知道你要在上面长什么类型的材料。如果你要在上面生长纳米颗粒,直接用氢氟酸或是氢氧化钠溶液,轻微刻蚀(控制浓度)就ok了,如果你要在上面生长纳米线阵列之类的,那么要求就比较高,光刻机的效果比较好。 ...

唉想做阵列啊,真麻烦啊,还是谢谢你啊
9楼2011-04-29 22:03:27
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


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nuaajsh(金币+1): 谢谢参与 2011-04-30 20:39:23
yingli09: 既然是应助就要尽量说的详细点! 2011-06-30 13:42:29
科学的方法是RCA cleaning
10楼2011-04-29 23:53:55
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