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thphysical

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片的清洗

想知道大家用硅片最衬底生长是硅片是怎么处理的
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thphysical

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by 马润恬 at 2011-04-28 12:16:27:
我们实验室师姐们使用的最有效的方法是:先用自来水冲洗,再用洗衣粉水浸泡过夜,再用自来水。蒸馏水漂洗,然后用丙酮超声清洗,再用蒸馏水,三次水淋洗,用氮气吹干就行了。这样洗的效果非常好。希望能对你有所帮 ...

好的谢谢你啊
8楼2011-04-29 22:02:33
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global_lin

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-04-28 12:14:49
yingli09: 我想请教下,如果我想让二氧化硅硅层加厚,怎么处理?谢谢 2011-05-02 11:30:01
yingli09(金币+2): 谢谢应助!有相关文献最后给LZ分享下! 2011-05-02 11:30:37
引用回帖:
Originally posted by thphysical at 2011-04-27 09:32:48:
想知道大家用硅片最衬底生长是硅片是怎么处理的

硅片作衬底是吧,先用加表面活性剂的自来水超声15min,而后用丙酮超声15min,然后用乙醇超声15min,最后用去离子水超声15min,真空干燥(也可以在空气中干燥,真空干燥主要是防止干燥过程沾上空气中的尘埃粒子),备用。
2楼2011-04-27 15:44:38
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global_lin

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-04-28 12:14:58
呵呵,上面说到的表面活性剂指的是洗衣粉或洗洁剂。
3楼2011-04-27 15:47:42
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global_lin

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


thphysical(金币+2): 好 2011-04-28 08:56:17
thphysical(金币+8): 2011-04-28 08:56:27
wandaohzl(金币+1): 好 2011-04-28 12:15:10
引用回帖:
Originally posted by thphysical at 2011-04-27 09:32:48:
想知道大家用硅片最衬底生长是硅片是怎么处理的

若是你要在上面生长薄膜,并且还要在较高温度下使用,建议你在你所用的最高温度下先对硅衬底进行退火处理。若是你要在上面生长纳米颗粒、纳米线之类的,就对其进行刻蚀。。。。。
4楼2011-04-27 15:53:59
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