应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 硅片的清洗
182/2返回列表上一页12
查看: 3057  |  回复: 17
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

yunyunnx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-05-01 23:56:59
用浓硫酸+双氧水氧化

然后用HF去处SiO2

反复3次
赞一下(1人) 回复此楼
11楼2011-04-30 07:40:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

thphysical

新虫 (初入文坛)
这个不错，谢谢
回复此楼
12楼2011-04-30 08:47:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxljp0305

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
Originally posted by global_lin at 2011-04-27 15:53:59:
若是你要在上面生长薄膜，并且还要在较高温度下使用，建议你在你所用的最高温度下先对硅衬底进行退火处理。若是你要在上面生长纳米颗粒、纳米线之类的，就对其进行刻蚀。。。。。

如果想在硅基底上生长一层100nm的SiO2薄膜，应该怎么进行？怎样生长SiO2？谢谢！
赞一下 回复此楼
13楼2011-04-30 09:48:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

【答案】应助回帖

★
nuaajsh(金币+1): 鼓励讨论 2011-05-01 23:57:08
引用回帖:
Originally posted by gxljp0305 at 2011-04-30 09:48:01:
如果想在硅基底上生长一层100nm的SiO2薄膜，应该怎么进行？怎样生长SiO2？谢谢！

有两种方法，首先选用RCA方法清洗，然后氧化，可以用湿氧氧化或干氧氧化，湿氧氧化速度快，但是干氧氧化效果好，具体参数，湿氧氧化,Wet oxidation 3min 1050℃ 115nm,测量厚度可以用椭偏仪
赞一下(1人) 回复此楼
14楼2011-05-01 01:33:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

鼓声点点

捐助贵宾 (小有名气)
对啊，半导体工业有成熟的工艺，你可以查一下。
赞一下 回复此楼
每天进步一点点
15楼2011-08-08 14:51:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

王军wangjun

金虫 (小有名气)
内容已删除
回复此楼
把工作当享受，你就会竭尽全力；把生活当乐趣，你就会满怀信心；把读书当成长，你就会勤奋努力；把奉献当快乐，你就会慷慨助人
16楼2011-08-12 10:42:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

不玩了真累

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by global_lin at 2011-04-27 15:44:38
硅片作衬底是吧，先用加表面活性剂的自来水超声15min，而后用丙酮超声15min，然后用乙醇超声15min，最后用去离子水超声15min，真空干燥（也可以在空气中干燥，真空干燥主要是防止干燥过程沾上空气中的尘埃粒子）， ...

really？让我试试
赞一下 回复此楼
17楼2015-06-23 14:12:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

邋遢的喵

新虫 (初入文坛)
楼主你们洗衬底的架子是哪里买的？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
18楼2017-07-07 06:39:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 thphysical 的主题更新
182/2返回列表上一页12
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 本人考085602 化学工程 专硕 +7 不知道叫什么！ 2026-03-15 8/400 2026-03-15 20:11 by 棒棒球手
[考研] 085600材料与化工 求调剂 +11 enenenhui 2026-03-13 12/600 2026-03-14 21:48 by laoshidan
[考研] 080500，材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
[考研] 290求调剂 +4 @将就将就看 2026-03-10 8/400 2026-03-14 14:23 by 千千运气
[考研] 313分生物学求调剂 +6 Yyt杨1 2026-03-09 8/400 2026-03-14 03:00 by JourneyLucky
[考研] 一志愿天津大学，英一数二305分求调剂，四六级已过 +8 小小番的茄 2026-03-09 8/400 2026-03-14 01:53 by JourneyLucky
[考研] 312求调剂 +6 陌宸希 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:40 by JourneyLucky
[考研] 311求调剂 +8 zchqwer 2026-03-10 8/400 2026-03-14 00:01 by JourneyLucky
[考研] 复试调剂 +9 Copy267 2026-03-10 9/450 2026-03-13 23:45 by userper
[考研] 279求调剂 +3 Dizzy123@ 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:02 by JourneyLucky
[考研] 求材料调剂 085600英一数二总分302 前三科235 精通机器学习 一志愿哈工大 +4 林yaxin 2026-03-12 4/200 2026-03-13 22:04 by 星空星月
[考研] 0703化学一志愿211 总分320求调剂 +5 玛卡巴卡啊哈 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:40 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +5 一定有学上- 2026-03-12 5/250 2026-03-13 18:31 by ms629
[考研] 求调剂 +7 18880831720 2026-03-11 7/350 2026-03-13 16:10 by JourneyLucky
[考研] 材料301分求调剂 +5 Liyouyumairs 2026-03-12 5/250 2026-03-13 14:42 by JourneyLucky
[考研] 一志愿华中师范071000，325求调剂 +5 RuitingC 2026-03-12 5/250 2026-03-13 10:43 by hyswxzs
[考研] 296求调剂 +3 大口吃饭 身体健 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:31 by 学员8dgXkO
[考研] 化工学硕306求调剂 +9 42838695 2026-03-12 9/450 2026-03-13 10:16 by houyaoxu
[考研] 270求调剂 085600材料与化工专硕 +3 YXCT 2026-03-11 3/150 2026-03-13 10:13 by houyaoxu
[考研] 283求调剂，材料、化工皆可 +8 苏打水7777 2026-03-11 10/500 2026-03-13 09:06 by Linda Hu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭