24小时热门版块排行榜    

查看: 3528  |  回复: 17

thphysical

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片的清洗

想知道大家用硅片最衬底生长是硅片是怎么处理的
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

马润恬

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
nuaajsh(金币+2): 鼓励交流 2011-04-30 20:39:12
我们实验室师姐们使用的最有效的方法是:先用自来水冲洗,再用洗衣粉水浸泡过夜,再用自来水。蒸馏水漂洗,然后用丙酮超声清洗,再用蒸馏水,三次水淋洗,用氮气吹干就行了。这样洗的效果非常好。希望能对你有所帮助。
7楼2011-04-28 12:16:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

global_lin

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-04-28 12:14:49
yingli09: 我想请教下,如果我想让二氧化硅硅层加厚,怎么处理?谢谢 2011-05-02 11:30:01
yingli09(金币+2): 谢谢应助!有相关文献最后给LZ分享下! 2011-05-02 11:30:37
引用回帖:
Originally posted by thphysical at 2011-04-27 09:32:48:
想知道大家用硅片最衬底生长是硅片是怎么处理的

硅片作衬底是吧,先用加表面活性剂的自来水超声15min,而后用丙酮超声15min,然后用乙醇超声15min,最后用去离子水超声15min,真空干燥(也可以在空气中干燥,真空干燥主要是防止干燥过程沾上空气中的尘埃粒子),备用。
2楼2011-04-27 15:44:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

global_lin

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-04-28 12:14:58
呵呵,上面说到的表面活性剂指的是洗衣粉或洗洁剂。
3楼2011-04-27 15:47:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

global_lin

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-04-28 12:15:20
引用回帖:
Originally posted by thphysical at 2011-04-28 08:57:28:
怎么刻蚀呢

不知道你要在上面长什么类型的材料。如果你要在上面生长纳米颗粒,直接用氢氟酸或是氢氧化钠溶液,轻微刻蚀(控制浓度)就ok了,如果你要在上面生长纳米线阵列之类的,那么要求就比较高,光刻机的效果比较好。就想刻光盘一样。。。。都是纳米级的凹凸不平的小巣,肉眼看起来是平的,实际上是凹凸不平的。
6楼2011-04-28 12:00:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

global_lin

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
thphysical(金币+2): 好 2011-04-28 08:56:17
thphysical(金币+8): 2011-04-28 08:56:27
wandaohzl(金币+1): 好 2011-04-28 12:15:10
引用回帖:
Originally posted by thphysical at 2011-04-27 09:32:48:
想知道大家用硅片最衬底生长是硅片是怎么处理的

若是你要在上面生长薄膜,并且还要在较高温度下使用,建议你在你所用的最高温度下先对硅衬底进行退火处理。若是你要在上面生长纳米颗粒、纳米线之类的,就对其进行刻蚀。。。。。
4楼2011-04-27 15:53:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

thphysical

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by global_lin at 2011-04-27 15:53:59:
若是你要在上面生长薄膜,并且还要在较高温度下使用,建议你在你所用的最高温度下先对硅衬底进行退火处理。若是你要在上面生长纳米颗粒、纳米线之类的,就对其进行刻蚀。。。。。

怎么刻蚀呢
5楼2011-04-28 08:57:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

thphysical

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by 马润恬 at 2011-04-28 12:16:27:
我们实验室师姐们使用的最有效的方法是:先用自来水冲洗,再用洗衣粉水浸泡过夜,再用自来水。蒸馏水漂洗,然后用丙酮超声清洗,再用蒸馏水,三次水淋洗,用氮气吹干就行了。这样洗的效果非常好。希望能对你有所帮 ...

好的谢谢你啊
8楼2011-04-29 22:02:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

thphysical

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by global_lin at 2011-04-28 12:00:21:
不知道你要在上面长什么类型的材料。如果你要在上面生长纳米颗粒,直接用氢氟酸或是氢氧化钠溶液,轻微刻蚀(控制浓度)就ok了,如果你要在上面生长纳米线阵列之类的,那么要求就比较高,光刻机的效果比较好。 ...

唉想做阵列啊,真麻烦啊,还是谢谢你啊
9楼2011-04-29 22:03:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

★
nuaajsh(金币+1): 谢谢参与 2011-04-30 20:39:23
yingli09: 既然是应助就要尽量说的详细点! 2011-06-30 13:42:29
科学的方法是RCA cleaning
10楼2011-04-29 23:53:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 thphysical 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 极限拉扯,如何抉择 +11 Isak0320 2026-10-12 15/750 2026-10-14 21:55 by 猫鱼不是鱼
[基金申请] 申请科研项目纯靠实力能成功吗? 200+5 David1982 2026-10-13 8/400 2026-10-14 21:38 by lhw_GPA4.0
[硕博家园] 中科院海洋所招收海洋材料相关领域博士研究生及研究助理 +3 sujiner 2026-10-08 4/200 2026-10-14 20:40 by qicaiyun
[职场人生] 40+中年人失业后,还能找到好工作吗? +3 xqy2009 2026-10-13 3/150 2026-10-14 20:17 by 43358052
[论文投稿] 二审4个多月了还是Awaiting Reviewer Scores 10+3 纳斯达克ML 2026-10-11 4/200 2026-10-14 17:30 by babero
[有机交流] OpenAI又攻克数学难题了,离AI做有机合成还有多远? +8 wangyl_123 2026-10-10 13/650 2026-10-14 15:12 by zuesli
[教师之家] 课题组会帮你通过考核么? +4 好运来~9527 2026-10-10 7/350 2026-10-13 08:41 by xli1984
[基金申请] 入职后第一次管课题组的专利缴费,对账才发现官费比别人多掏了一倍 +6 13108017953 2026-10-08 6/300 2026-10-12 20:07 by w3w3y3
[公派出国] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:34 by XQNyDCa1Tk5n
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:15 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 22:11 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 (EPI+-1)(金币-50) +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 14:05 by VOMexwnDzOFZ
[考研] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:51 by VOMexwnDzOFZ
[硕博家园] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:45 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:54 by VOMexwnDzOFZ
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 4/200 2026-10-11 03:14 by M0zrYVSAnxpE
[有机交流] 各位大佬,路线设计求助 +6 zapen 2026-10-08 8/400 2026-10-10 15:59 by zapen
[有机交流] 我应该选哪条合成路线让实验成功率高一些? +5 jing816y 2026-10-08 9/450 2026-10-10 09:05 by zapen
信息提示
请填处理意见