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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 硅片的清洗
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thphysical

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片的清洗

想知道大家用硅片最衬底生长是硅片是怎么处理的
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硅片 实验拾遗

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1楼 2011-04-27 09:32:48
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global_lin

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-04-28 12:15:20
引用回帖:
Originally posted by thphysical at 2011-04-28 08:57:28:
怎么刻蚀呢

不知道你要在上面长什么类型的材料。如果你要在上面生长纳米颗粒，直接用氢氟酸或是氢氧化钠溶液，轻微刻蚀（控制浓度）就ok了，如果你要在上面生长纳米线阵列之类的，那么要求就比较高，光刻机的效果比较好。就想刻光盘一样。。。。都是纳米级的凹凸不平的小巣，肉眼看起来是平的，实际上是凹凸不平的。
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6楼2011-04-28 12:00:21
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global_lin

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-04-28 12:14:49
yingli09: 我想请教下，如果我想让二氧化硅硅层加厚，怎么处理？谢谢 2011-05-02 11:30:01
yingli09(金币+2): 谢谢应助！有相关文献最后给LZ分享下！ 2011-05-02 11:30:37
引用回帖:
Originally posted by thphysical at 2011-04-27 09:32:48:
想知道大家用硅片最衬底生长是硅片是怎么处理的

硅片作衬底是吧，先用加表面活性剂的自来水超声15min，而后用丙酮超声15min，然后用乙醇超声15min，最后用去离子水超声15min，真空干燥（也可以在空气中干燥，真空干燥主要是防止干燥过程沾上空气中的尘埃粒子），备用。
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2楼2011-04-27 15:44:38
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global_lin

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
wandaohzl(金币+1): 鼓励应助 2011-04-28 12:14:58
呵呵，上面说到的表面活性剂指的是洗衣粉或洗洁剂。
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3楼2011-04-27 15:47:42
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global_lin

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
thphysical(金币+2): 好 2011-04-28 08:56:17
thphysical(金币+8): 2011-04-28 08:56:27
wandaohzl(金币+1): 好 2011-04-28 12:15:10
引用回帖:
Originally posted by thphysical at 2011-04-27 09:32:48:
想知道大家用硅片最衬底生长是硅片是怎么处理的

若是你要在上面生长薄膜，并且还要在较高温度下使用，建议你在你所用的最高温度下先对硅衬底进行退火处理。若是你要在上面生长纳米颗粒、纳米线之类的，就对其进行刻蚀。。。。。
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4楼2011-04-27 15:53:59
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