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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 有用“沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”的？请进来讨论
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

[交流] 有用“沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”的？请进来讨论 已有6人参与

我是新手，刚开始做实验，用的是“中科院沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”来镀膜，机器的气路系统有两路，流量控制为一路100sccm，一路200sccm。当我分别通入两种气体时发现有一路是有小数点显示，另一路却没有，这是怎么回事？我又要怎么控制两路气体的流量比呢？
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1楼 2011-04-06 10:14:16
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Serendipity-

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by 380677864 at 2011-04-06 20:48:42
是不是两个流量计不一样啊，我用过这个仪器，没有你说的这个情况。你看看两个表精度一样吗

请问你镀膜TiAlN了吗？
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12楼2018-10-31 16:01:14
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380677864

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zhaohaixing(金币+1): 谢谢回答~ 2011-04-07 12:37:12
是不是两个流量计不一样啊，我用过这个仪器，没有你说的这个情况。你看看两个表精度一样吗
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2011-04-06 20:48:42
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)
l是啊，两路流量范围不同，一路100sccm，一路200sccm。
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3楼2011-04-07 09:09:10
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380677864

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by 攻克难点 at 2011-04-07 09:09:10:
l是啊，两路流量范围不同，一路100sccm，一路200sccm。

两个表的精度呢？
赞一下 回复此楼
4楼2011-04-07 18:50:35
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