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【讨论】CVD制备纳米硅
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dechao69
木虫
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帖子: 266
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虫号: 960217
[交流]
【讨论】CVD制备纳米硅
小虫看到利用化学气相沉积法制备纳米硅所用的硅源气体一般为SiH4,但是硅烷太危险了,那么还有没有其他的硅源呢,比如说液体的?具体又如何操作呢?
请大家积极讨论,不吝赐教!
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2011-03-21 09:54:34
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dashen
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shileinjut(金币+1): 谢谢参与! 2011-03-21 11:23:04
dechao69(金币+3): 2011-06-29 14:15:09
本帖内容被屏蔽
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3楼
2011-03-21 11:17:51
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无敌烽火轮
铁虫
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shileinjut(金币+1): 谢谢参与! 2011-03-21 11:22:59
dechao69(金币+2): 2011-06-29 14:14:58
记得2010年有篇J of Mater Chem用的是SiBr4,液体的。
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2011-03-21 11:09:15
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