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dechao69

木虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 1995
帖子: 266
在线: 189.4小时
虫号: 960217

[交流] 【讨论】CVD制备纳米硅

小虫看到利用化学气相沉积法制备纳米硅所用的硅源气体一般为SiH4，但是硅烷太危险了，那么还有没有其他的硅源呢，比如说液体的？具体又如何操作呢？
请大家积极讨论，不吝赐教！

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1楼 2011-03-21 09:54:34

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dashen

禁虫 (小有名气)

★
shileinjut(金币+1): 谢谢参与！ 2011-03-21 11:23:04
dechao69(金币+3): 2011-06-29 14:15:09

本帖内容被屏蔽

3楼2011-03-21 11:17:51

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查看全部 3 个回答

无敌烽火轮

铁虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
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帖子: 294
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虫号: 289080

★
shileinjut(金币+1): 谢谢参与！ 2011-03-21 11:22:59
dechao69(金币+2): 2011-06-29 14:14:58

记得2010年有篇J of Mater Chem用的是SiBr4，液体的。

赞一下(1人)

2楼2011-03-21 11:09:15

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