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【讨论】CVD制备纳米硅
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小虫看到利用化学气相沉积法制备纳米硅所用的硅源气体一般为SiH4，但是硅烷太危险了，那么还有没有其他的硅源呢，比如说液体的？具体又如何操作呢？ 请大家积极讨论，不吝赐教！  |
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2楼2011-03-21 11:09:15
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shileinjut(金币+1): 谢谢参与！ 2011-03-21 11:23:04
dechao69(金币+3): 2011-06-29 14:15:09
shileinjut(金币+1): 谢谢参与！ 2011-03-21 11:23:04
dechao69(金币+3): 2011-06-29 14:15:09
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3楼2011-03-21 11:17:51