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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【讨论】CVD制备纳米硅
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dechao69

木虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】CVD制备纳米硅

小虫看到利用化学气相沉积法制备纳米硅所用的硅源气体一般为SiH4，但是硅烷太危险了，那么还有没有其他的硅源呢，比如说液体的？具体又如何操作呢？
请大家积极讨论，不吝赐教！
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1楼 2011-03-21 09:54:34
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无敌烽火轮

铁虫 (小有名气)
★
shileinjut(金币+1): 谢谢参与！ 2011-03-21 11:22:59
dechao69(金币+2): 2011-06-29 14:14:58
记得2010年有篇J of Mater Chem用的是SiBr4，液体的。
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2楼2011-03-21 11:09:15
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dashen

禁虫 (小有名气)
★
shileinjut(金币+1): 谢谢参与！ 2011-03-21 11:23:04
dechao69(金币+3): 2011-06-29 14:15:09
本帖内容被屏蔽
3楼2011-03-21 11:17:51
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