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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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dechao69

木虫 (小有名气)


[交流] 【讨论】CVD制备纳米硅

小虫看到利用化学气相沉积法制备纳米硅所用的硅源气体一般为SiH4,但是硅烷太危险了,那么还有没有其他的硅源呢,比如说液体的?具体又如何操作呢?
请大家积极讨论,不吝赐教!
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无敌烽火轮

铁虫 (小有名气)



shileinjut(金币+1): 谢谢参与! 2011-03-21 11:22:59
dechao69(金币+2): 2011-06-29 14:14:58
记得2010年有篇J of Mater Chem用的是SiBr4,液体的。
2楼2011-03-21 11:09:15
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dashen

禁虫 (小有名气)


shileinjut(金币+1): 谢谢参与! 2011-03-21 11:23:04
dechao69(金币+3): 2011-06-29 14:15:09
本帖内容被屏蔽

3楼2011-03-21 11:17:51
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