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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】氢氟酸刻蚀硅片,粗糙度是怎么变化的啊? 已有12人参与

我最近想用10%氢氟酸刻蚀下硅片形成一定的粗糙度,可是文献中说法不一样啊,有的说随时间延长粗糙度会越来越大,有的说基本保持不变,到底哪个对啊?我针对的是抛光面。
不知谁有相关的文献提供下。

[ Last edited by lzb7758520 on 2011-3-16 at 14:10 ]
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梦想不能当饭吃啊
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479967958

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
694315楼: Originally posted by lzb7758520 at 2011-03-16 20:14:58
我用的是p(100)面的,氢氟酸腐蚀能不能使粗糙度加大呢?...

刻蚀后,水的接触角能达到多少度?
17楼2013-01-30 15:48:17
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