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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】关于XPS的几点疑问
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江苏小伙

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】关于XPS的几点疑问

我尝试用XPS测量物质A上吸附物质B的厚度，原理参见化学工业出版社《材料结构表征及应用》（吴刚编）357页的相关公式。由于书中没有实例介绍，故实际测试有几处疑问。
测试中，先 以Si2p光电子经过样品甲（即物质A），再以Si2p光电子经过样品乙（即表面吸附了物质B后的物质A），通过分析Si2p光电子经过样品甲和乙的衰减强度，来计算吸附的物质B的厚度。
公式中需知悉光电子的动能Ek，该值如何得出？貌似非常重要！我手头有Si2p光电子经过样品甲和乙的XPS谱图；以及给出的Atomic Concentration Table，分别为C1s  ,     O1s  ,     Si2p的数值，样品甲的该值依次为22.69 ,    71.99 ,     5.32 ,这三个数据代表什么？
请大家帮帮忙，谢谢！
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1楼 2011-03-14 17:20:13
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江苏小伙

新虫 (初入文坛)
对不起，阅读文献不精，上述问题纠正下。
改为：如何得出Si2p光电子的动能值？可以通过XPS谱图得出吗？还是需要测试过程中由仪器直接检测得出？谢谢！
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2楼2011-03-14 20:36:31
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