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【讨论】金属辅助化学刻蚀硅纳米线 金颗粒
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hegelle
银虫
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[交流]
【讨论】金属辅助化学刻蚀硅纳米线 金颗粒
用Ag刻蚀Si纳米线的常见刻蚀液 为 HF 4.6M, H2O2 0.44M, 用金的话刻蚀液浓度需要改么?
[
Last edited by hegelle on 2011-3-10 at 13:23
]
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2011-03-10 13:13:29
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SCU_magiclee
铁杆木虫
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hegelle(金币
+2
):谢谢参与
hegelle(金币+2): 2011-03-17 02:59:38
引用回帖:
Originally posted by
yq01y
at 2011-03-12 20:23:55:
这种方法,金属颗粒是用作催化剂;浓度估计不大!你可以参考北大的一个研究小组;pengkuiqing!
彭奎庆是在清华读的博士。。不要乱说
现在是北师大的副教授吧,可能已经成教授了
发了一堆这方面的文章了,都是ADV. Matter adv.fun.Matter这种级别的,最近还有jacs,nanoletters,从机理到器件,做得非常系统。金银的离子溶液就不说了,硝酸铁和和H2O2都可以刻蚀硅衬底,不过要先用聚乙烯球在硅衬底表面自组装一个薄层(起到掩模板的作用),然后蒸镀一层银,银在硅表面就是小纳米颗粒阵列,然后再刻蚀。。反正找一篇来看看就知道了,不过具体条件还是需要摸一下的
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10楼
2011-03-13 09:29:06
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xjajx
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hegelle(金币
+2
):谢谢参与
建议先试试看看再说啊,
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2011-03-10 16:44:57
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zhangwj
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hegelle(金币
+2
):谢谢参与
金可以吗?我没有做过这个~~lz还是找个文献看看吧
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5楼
2011-03-10 17:16:37
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hegelle(金币
+2
):谢谢参与
xjajx: 鼓励交流 2011-03-11 21:59:03
刚看到一篇文献,就是用Au刻蚀硅线的,HF:4.4M,H2O2:0.4M
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6楼
2011-03-11 17:06:34
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