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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【讨论】金属辅助化学刻蚀硅纳米线 金颗粒
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hegelle

银虫 (初入文坛)

[交流] 【讨论】金属辅助化学刻蚀硅纳米线 金颗粒

用Ag刻蚀Si纳米线的常见刻蚀液 为 HF 4.6M， H2O2  0.44M， 用金的话刻蚀液浓度需要改么？

[ Last edited by hegelle on 2011-3-10 at 13:23 ]
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1楼 2011-03-10 13:13:29
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)
★
hegelle(金币+2):谢谢参与
hegelle(金币+2): 2011-03-17 02:59:38
引用回帖:
Originally posted by yq01y at 2011-03-12 20:23:55:
这种方法，金属颗粒是用作催化剂；浓度估计不大！你可以参考北大的一个研究小组；pengkuiqing!

彭奎庆是在清华读的博士。。不要乱说
现在是北师大的副教授吧，可能已经成教授了
发了一堆这方面的文章了，都是ADV. Matter adv.fun.Matter这种级别的，最近还有jacs，nanoletters，从机理到器件，做得非常系统。金银的离子溶液就不说了，硝酸铁和和H2O2都可以刻蚀硅衬底，不过要先用聚乙烯球在硅衬底表面自组装一个薄层（起到掩模板的作用），然后蒸镀一层银，银在硅表面就是小纳米颗粒阵列，然后再刻蚀。。反正找一篇来看看就知道了，不过具体条件还是需要摸一下的
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10楼2011-03-13 09:29:06
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xjajx

至尊木虫 (著名写手)
★
hegelle(金币+2):谢谢参与
建议先试试看看再说啊，
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4楼2011-03-10 16:44:57
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)
★
hegelle(金币+2):谢谢参与
金可以吗？我没有做过这个~~lz还是找个文献看看吧
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5楼2011-03-10 17:16:37
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在自己的王国

铁杆木虫 (正式写手)
★
hegelle(金币+2):谢谢参与
xjajx: 鼓励交流 2011-03-11 21:59:03
刚看到一篇文献，就是用Au刻蚀硅线的，HF：4.4M，H2O2：0.4M
赞一下(2人) 回复此楼
6楼2011-03-11 17:06:34
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