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ylkitty

金虫 (正式写手)

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[交流] 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量？

H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！

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1楼 2011-03-03 10:02:35

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huangjiangta

银虫 (小有名气)

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ylkitty(金币+2): 谢谢！ 2011-03-10 08:59:33

引用回帖:

Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 10:02:35:
H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！

这个东西直接分析很难 NMR可以分析H 还有可以间接的比如测试Si 试一下RBS SIMS 我看文献有得

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18楼2011-03-09 23:15:18

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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)

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引用回帖:

Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 10:02:35:
H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！

a-Si:H薄膜是什么东西

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2楼2011-03-03 13:34:29

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ylkitty

金虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
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引用回帖:

Originally posted by styrenes at 2011-03-03 13:34:29:
a-Si:H薄膜是什么东西

就是氢化非晶硅（Hydrogenated Amorphous Silicon）。

3楼2011-03-03 13:46:55

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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 23 (小学生)
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引用回帖:

Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 13:46:55:
就是氢化非晶硅（Hydrogenated Amorphous Silicon）。

无机物应该也能做元素分析。

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4楼2011-03-03 13:56:30

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