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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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houlucky

木虫 (正式写手)


[交流] 【求助】CVD中沉积载体表面温度模拟问题

各位,最近遇到一难题,在硅CVD系统中,选取硅棒作为发热体兼沉积体,由于硅棒为三根相互搭接成“U”形并形成电流回路,请问如何模拟硅棒表面的温度分布及沉积量的模拟,谢谢!

[ Last edited by mingdong on 2011-1-15 at 21:42 ]
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houlucky

木虫 (正式写手)


各位虫虫,请给一点建议吧!!! !!
2楼2011-01-23 08:08:39
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wfove

禁虫 (初入文坛)

houlucky(金币+5): 谢谢,但能否提供软件啊。 2011-02-15 17:43:38
本帖内容被屏蔽

3楼2011-02-15 15:59:19
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