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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 计算模拟区 » 计算模拟 » 程序代码 » 【求助】CVD中沉积载体表面温度模拟问题
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houlucky

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】CVD中沉积载体表面温度模拟问题

各位，最近遇到一难题，在硅CVD系统中，选取硅棒作为发热体兼沉积体，由于硅棒为三根相互搭接成“U”形并形成电流回路，请问如何模拟硅棒表面的温度分布及沉积量的模拟，谢谢！

[ Last edited by mingdong on 2011-1-15 at 21:42 ]
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1楼 2011-01-13 15:51:46
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houlucky

木虫 (正式写手)
各位虫虫，请给一点建议吧！！！ !!
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2楼2011-01-23 08:08:39
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wfove

禁虫 (初入文坛)
houlucky(金币+5): 谢谢，但能否提供软件啊。 2011-02-15 17:43:38
本帖内容被屏蔽
3楼2011-02-15 15:59:19
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