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木虫 (正式写手)

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[交流] 【讨论】PECVD薄膜生长时如何加偏压？？

射频起辉后，再加偏压会连通，生长室会放电，偏压电源上电流表摆动，甚至会烧表！！怎么办呢？
到底怎么样引入偏压？

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1楼 2010-12-09 20:16:13

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

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