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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【讨论】PECVD薄膜生长时如何 加偏压？？
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380677864

木虫 (正式写手)

[交流] 【讨论】PECVD薄膜生长时如何 加偏压？？

射频起辉后，再加偏压会连通，生长室会放电，偏压电源上电流表摆动，甚至会烧表！！怎么办呢？
到底怎么样引入偏压？
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1楼 2010-12-09 20:16:13
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智能机器人

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