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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】如何测微米纳米量级薄膜的确切厚度
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xiaowenzi2

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】如何测微米纳米量级薄膜的确切厚度

在熔融石英上镀金膜，如何测上面金膜的厚度，且不能对金膜表面有破坏。
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1楼 2010-12-08 10:36:49
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bibiaomian

金虫 (著名写手)
xiaowenzi2(金币+1):谢谢参与 2010-12-09 09:11:25
有一个测厚仪 应该可以测 具体的我也不是很清楚 只是听说过
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2楼2010-12-08 10:52:46
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arlibb

金虫 (正式写手)
xiaowenzi2(金币+1):谢谢参与 2010-12-09 09:11:40
原子力显微镜
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3楼2010-12-08 10:53:20
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裙角飞扬

金虫 (著名写手)
xiaowenzi2(金币+1):谢谢参与 2010-12-09 09:11:56
用透射电镜看看行不行呀，我也不知道
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4楼2010-12-08 11:41:03
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yes_zhu

铁杆木虫 (著名写手)
xiaowenzi2(金币+1):谢谢参与 2010-12-09 09:12:34
可以用台阶仪
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5楼2010-12-08 11:43:54
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solar散人

金虫 (正式写手)
xiaowenzi2(金币+4):谢谢参与 2010-12-09 09:12:46
台阶仪，原子力显微镜，都要在膜上划一条线，使周围的基底露出来，这样才能通过台阶差测出膜厚，当然如果你铺膜的时候，一半有膜，一半是基底，测边缘与基底之间的台阶也能测。不过通常边缘比中间的膜厚。
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6楼2010-12-08 12:08:05
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adongs

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
看你的金膜有多厚，如果厚度不是很大，可以用反射和透射光谱来测试。如果很厚的话，只能用台阶仪，AFM，扫描电镜，或者白光轮廓仪来测试了。http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=2640065
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7楼2010-12-09 10:58:24
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zhangzhiguang

至尊木虫 (文坛精英)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
如果边缘比较清晰的话可以考虑使用扫描电镜从侧面测量
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8楼2010-12-10 13:39:09
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