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【请教】如何测微米纳米量级薄膜的确切厚度
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xiaowenzi2
铁杆木虫
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[交流]
【请教】如何测微米纳米量级薄膜的确切厚度
在熔融石英上镀金膜,如何测上面金膜的厚度,且不能对金膜表面有破坏。
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1楼
2010-12-08 10:36:49
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裙角飞扬
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xiaowenzi2(金币+1):谢谢参与 2010-12-09 09:11:56
用透射电镜看看行不行呀,我也不知道
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4楼
2010-12-08 11:41:03
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bibiaomian
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xiaowenzi2(金币+1):谢谢参与 2010-12-09 09:11:25
有一个测厚仪 应该可以测 具体的我也不是很清楚 只是听说过
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2楼
2010-12-08 10:52:46
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solar散人
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虫号: 1140204
xiaowenzi2(金币+4):谢谢参与 2010-12-09 09:12:46
台阶仪,原子力显微镜,都要在膜上划一条线,使周围的基底露出来,这样才能通过台阶差测出膜厚,当然如果你铺膜的时候,一半有膜,一半是基底,测边缘与基底之间的台阶也能测。不过通常边缘比中间的膜厚。
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6楼
2010-12-08 12:08:05
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adongs
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虫号: 400422
★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖交流
看你的金膜有多厚,如果厚度不是很大,可以用反射和透射光谱来测试。如果很厚的话,只能用台阶仪,AFM,扫描电镜,或者白光轮廓仪来测试了。
http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=2640065
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7楼
2010-12-09 10:58:24
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