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【求助】光刻之前怎么旋涂厚胶？
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想涂10微米厚的胶，怎么旋涂上去啊？现在手头上的胶粘度不大，如果降低旋涂速度和时间涂的就不均匀了，怎么办啊？ [ Last edited by 巍巍sol on 2010-12-14 at 16:36 ] |
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