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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】光刻之前怎么旋涂厚胶？
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巍巍sol

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】光刻之前怎么旋涂厚胶？

想涂10微米厚的胶，怎么旋涂上去啊？现在手头上的胶粘度不大，如果降低旋涂速度和时间涂的就不均匀了，怎么办啊？

[ Last edited by 巍巍sol on 2010-12-14 at 16:36 ]
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1楼 2010-12-07 13:06:00
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windc_0

木虫 (小有名气)
巍巍sol(金币+5): 2010-12-14 17:40:25
那么厚，采用刮涂吧。
必须旋涂的话，加点流平剂一类表活剂试试吧
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5楼2010-12-14 16:56:18
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