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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【交流】物理气相沉积离化率问题
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20041696

银虫 (小有名气)

[交流] 【交流】物理气相沉积离化率问题

大家好，本人是做物理气相沉积的，想和大家探讨一下：
在不改变其他参数的情况下，采用H2等离子体溅射和Ar等离子体溅射有何区别，
哪中情况下的离化率更好，溅射产物那种含中性分子跟多，谢谢！

[ Last edited by 20041696 on 2010-12-7 at 11:25 ]
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1楼 2010-12-06 16:47:19
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