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【求助】化学气相沉积Si纳米线的机理
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[交流]
【求助】化学气相沉积Si纳米线的机理
请教,我用SiH4热分解法沉积出一维的Si线(晶须),没有使用催化剂,但是不太清楚机理,请大家指点一下,给个资料也行。多谢。
[
Last edited by knightshui on 2010-12-6 at 10:31
]
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