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【求助】化学气相沉积Si纳米线的机理
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请教，我用SiH4热分解法沉积出一维的Si线（晶须），没有使用催化剂，但是不太清楚机理，请大家指点一下，给个资料也行。多谢。 [ Last edited by knightshui on 2010-12-6 at 10:31 ] |
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2楼2012-12-17 19:27:08