| 查看: 558 | 回复: 1 | |||
[交流]
【讨论】如何表征厚度 100nm SiO2薄膜的密度？ 已有1人参与
|
|
如题，PECVD沉积出的SiO2薄膜，如何表征薄膜的密度呢？ 基片是100mm 直径的玻璃片，曾想过比较镀膜前后片子的质量变化来推算密度，可算下来薄膜顶多就几毫克，似乎误差太大了。。。 |
回复此楼» 猜你喜欢
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
搞薄膜的小菜鸟求大神指教腐蚀方面相关问题
已经有14人回复
- 关于可能是C70的表征
已经有5人回复
- 请问大概200nm的薄膜，XRD怎么表征，我想知道其是什么物相，晶型是什么
已经有28人回复
- 急求如何对基底上生长的薄膜的红外进行表征
已经有6人回复
- 如何表征100nm左右的钝化膜？！！！
已经有13人回复
- 【求助】如何对100um*100um面积范围薄膜材料的质量进行表征
已经有11人回复
- 【求助】如何表征薄膜样品最表面凸起结构的物相信息
已经有8人回复
37863786
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1162.7
- 帖子: 143
- 在线: 127.9小时
- 虫号: 198982
- 注册: 2006-02-26
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2010-11-29 13:28:41
