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【讨论】如何表征厚度 100nm SiO2薄膜的密度？ 已有1人参与
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如题，PECVD沉积出的SiO2薄膜，如何表征薄膜的密度呢？ 基片是100mm 直径的玻璃片，曾想过比较镀膜前后片子的质量变化来推算密度，可算下来薄膜顶多就几毫克，似乎误差太大了。。。 |
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2楼2010-11-29 13:28:41