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金虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】如何表征厚度 100nm SiO2薄膜的密度? 已有1人参与

如题,PECVD沉积出的SiO2薄膜,如何表征薄膜的密度呢?

基片是100mm 直径的玻璃片,曾想过比较镀膜前后片子的质量变化来推算密度,可算下来薄膜顶多就几毫克,似乎误差太大了。。。
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突然来了一个机会,空空的没有目的;就像姑娘当初生了我们,我们没有说愿意
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金虫 (小有名气)


csuhcb2000(金币+1):欢迎交流,能具体些吗 2010-11-29 13:54:46
用光学方法试试
2楼2010-11-29 13:28:41
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