24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1449  |  回复: 3

xiangqy

铁虫 (小有名气)


[交流] 【求助】二氧化硅退火开裂

大家好,请教各位一个问题,我在硅片上长有1.9微米二氧化硅薄膜(热氧化法生长)上再用电子束镀膜方法镀上7-8百纳米的二氧化硅(镀膜时开烘烤200°C),最后将基片400度的烘烤处理,升温时间300min 保温90min,自然降温发现薄膜开裂。是什么原因啊。请指教。谢谢!
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

forever

木虫 (正式写手)


xiangqy(金币+1): 2010-11-19 22:00:49
xiangqy(金币+1): 2010-11-25 20:08:58
是不是降温太快了?
自然降温不如设定降温的好。
2楼2010-11-19 14:21:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

_MIOIM_

银虫 (小有名气)


xiangqy(金币+1): 2010-11-19 22:00:53
xiangqy(金币+1): 2010-11-25 20:09:03
主要是升降温太快了造成的吧。
3楼2010-11-19 15:41:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiangqy

铁虫 (小有名气)


引用回帖:
Originally posted by _MIOIM_ at 2010-11-19 15:41:10:
主要是升降温太快了造成的吧。

我升温非常慢了,300min升到400度,保温90Min,自然降温
4楼2010-11-19 19:59:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xiangqy 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 环境专硕调剂 +5 会说话的肘子 2026-04-06 5/250 2026-04-06 22:47 by qlm5820
[考研] 085600材料与化工301分求调剂院校 +17 刺痛jk 2026-04-06 18/900 2026-04-06 22:43 by qlm5820
[考研] 初试301,代码085701环境工程,本硕一致,四六级已过,有二区一作,共发表5篇论文 +10 axibli 2026-04-01 11/550 2026-04-06 22:39 by guanxin1001
[考研] 328求调剂 +3 ghhh88888 2026-04-06 3/150 2026-04-06 21:35 by 啵啵啵0119
[考研] 304求调剂 +4 luoye0105 2026-04-05 4/200 2026-04-06 21:05 by 木子君1218
[考研] 生物与医药求调剂 +7 heguanhua 2026-04-05 8/400 2026-04-06 18:41 by macy2011
[考研] 求调剂 +8 张zic 2026-04-05 9/450 2026-04-06 13:03 by 猪会飞
[考研] 085602调剂 初试总分335 +9 19123253302 2026-04-05 9/450 2026-04-06 06:14 by houyaoxu
[考研] 283求调剂 +10 A child 2026-04-04 10/500 2026-04-05 08:22 by qlm5820
[考研] 344材料与化工调剂 +9 调剂上岸玘 2026-04-03 9/450 2026-04-04 23:10 by happyddm
[考研] 0835学硕299求调剂 08大类可接受 +5 useryy 2026-04-03 5/250 2026-04-04 20:07 by 蓝云思雨
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +5 崔wj 2026-03-31 5/250 2026-04-04 19:45 by 1753564080
[考研] 11408 一志愿西电,277分求调剂 +4 zhouzhen654 2026-04-03 4/200 2026-04-04 18:10 by 猪会飞
[考研] 338求调剂 +4 zzz,,r 2026-04-03 4/200 2026-04-03 16:39 by lijunpoly
[考研] 材料专硕322分 +13 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-01 13/650 2026-04-03 16:08 by 哦哦123
[考研] 372分材料与化工(085600)一志愿湖南大学求调剂 +5 蓝笺片 2026-04-02 6/300 2026-04-02 21:37 by dongzh2009
[考研] 314求调剂 +11 1xiaojun23 2026-03-31 12/600 2026-04-02 12:31 by 1xiaojun23
[考研] 化学工程专硕324分,一志愿中国矿业大学求调剂 +7 耿耿1314 2026-04-01 7/350 2026-04-02 07:40 by 尚水阁主
[考研] 一志愿北交材料工程总分358 +5 cs0106 2026-04-01 7/350 2026-04-01 11:45 by wangjy2002
[考研] 材料调剂 +10 Eujd1 2026-03-31 11/550 2026-04-01 11:23 by ivanqyq
信息提示
请填处理意见