应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】二氧化硅退火开裂
41/1返回列表
查看: 1369  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

xiangqy

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】二氧化硅退火开裂

大家好，请教各位一个问题，我在硅片上长有1.9微米二氧化硅薄膜（热氧化法生长）上再用电子束镀膜方法镀上7-8百纳米的二氧化硅（镀膜时开烘烤200°C），最后将基片400度的烘烤处理，升温时间300min 保温90min,自然降温发现薄膜开裂。是什么原因啊。请指教。谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2010-11-19 11:09:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

forever

木虫 (正式写手)
xiangqy(金币+1): 2010-11-19 22:00:49
xiangqy(金币+1): 2010-11-25 20:08:58
是不是降温太快了？
自然降温不如设定降温的好。
赞一下 回复此楼
2楼2010-11-19 14:21:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

_MIOIM_

银虫 (小有名气)
xiangqy(金币+1): 2010-11-19 22:00:53
xiangqy(金币+1): 2010-11-25 20:09:03
主要是升降温太快了造成的吧。
赞一下 回复此楼
3楼2010-11-19 15:41:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiangqy

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by _MIOIM_ at 2010-11-19 15:41:10:
主要是升降温太快了造成的吧。

我升温非常慢了，300min升到400度，保温90Min,自然降温
赞一下 回复此楼
4楼2010-11-19 19:59:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xiangqy 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭