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wangpeng1984

银虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by niteng at 2014-03-05 10:11:12
坑啊!我最近也遇到一样的问题。在长有氧化硅的硅片表面光刻图形,老是掉胶。
1.热氧SiO2的表面和PECVDSiO2表面都掉胶,前者还更严重。
2.涂胶之前,都做过丙酮+乙醇+去离子水清洗,还150℃烘了10min。
3.显影时 ...

显影时间过长,或者烘烤温度偏低,但是150度已经不低了,是不是你的这个胶需要的烘烤温度更高呢?还有很可能是烤盘脏了,需要好好清理下,你的实际温度也许离设定温度150度还远着呢。
11楼2014-04-03 16:14:52
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190279408

金虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
sio2上的光刻胶很好去的,当然有的时候光刻返工的不容易完全去干净

sio2衬底,则标准RCA清洗可以解决这个问题,若怕胶掉,涂胶前 前烘一下,160度以上 烘几分钟 ,若还怕浮胶 可以在涂胶前先蒸 或涂一层HMDS,便可解决胶与衬底之间的粘连问题
12楼2014-04-12 23:22:13
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song12345678

铜虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
光刻失败之后,估计得重新烘片子了,200度太低了,得在600~800度,之后立即去光刻,应该没问题了
13楼2014-06-09 10:29:39
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joy_zheng

铜虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
二氧化硅粘胶不牢有可能是因为吸水造成的...以前遇到过这个问题,其实就是光刻之前确保片子烘干会好很多
14楼2014-09-09 00:07:03
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spiderman504

金虫 (小有名气)


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一般清洗烘干后,要旋涂HMDS,这是大家普遍采用的方法,用来表面改性。
由于您的签名过于个性,小木虫暂时无法显示。。。
15楼2014-09-09 09:53:51
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猪胖胖

铜虫 (初入文坛)


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先用丙酮超声10分钟,后用酒精超声10分钟,就可以去掉光刻胶。
不忘初心,方得始终
16楼2015-03-28 16:38:50
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笨豆豆z

银虫 (初入文坛)


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用HMDS处理下就好了。
17楼2015-07-22 17:06:46
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你在热板上高温烘烤时间长点,半小时,一小时都可以,温度最好是120以上,然后冷却后立马就涂胶试试。
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
18楼2015-07-24 18:39:02
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

如果是烘箱,温度调到很高,烘个两小时
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
19楼2015-07-24 18:39:51
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hubuyy

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我都是直接泡在丙酮里面,泡了好几天,就泡干净了
20楼2015-07-24 22:11:08
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