24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 618  |  回复: 2
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

rulily1984

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助已完结】真空计的跳变问题

【求助已完结】磁控溅射时为什么真空计会突然跳跃

   在进行磁控溅射(氧化铝靶)时,沉积大概一小时后真空计突然由0.5Pa跳到12Pa左右,很不稳定,有谁能从理论上解释一下原因。非常感谢



可能是样品台打火的原因,谢谢大家

[ Last edited by rulily1984 on 2010-11-3 at 10:12 ]
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

380677864

木虫 (正式写手)

rulily1984(金币+1): 2010-11-03 10:10:35
如果气流量进出不变的话,说明溅射室的压强应该是不变的,可能是楼上所说的电磁干扰。请问是每次实验都是这样吗??你觉得溅射室是否发生了其它化学反应,有气体生成呢?
3楼2010-10-30 22:12:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 3 个回答

haode22

金虫 (正式写手)

rulily1984(金币+1): 2010-11-03 10:10:30
引用回帖:
Originally posted by rulily1984 at 2010-10-30 13:56:15:
【求助】磁控溅射时为什么真空计会突然跳跃

   在进行磁控溅射(氧化铝靶)时,沉积大概一小时后真空计突然由0.5Pa跳到12Pa左右,很不稳定,有谁能从理论上解释一下原因。非常感谢

是一直这样跳动?
1.0.5Pa是电阻规测量,电磁干扰的可能性不大
2.电磁屏蔽不好,干扰气体阀门
逐渐成为工作狂,技术狂.............
2楼2010-10-30 21:01:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料专硕(0856) 339分求调剂 +10 哈哈哈鹅哈哈哈 2026-04-04 10/500 2026-04-05 18:51 by 蓝云思雨
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +3 崔wj 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:27 by 蓝云思雨
[考研] 085600调剂 +9 东照照照 2026-04-04 9/450 2026-04-05 13:44 by ujn_zhuj
[考研] 数一英一 347 人工智能国奖论文都有求调剂 +3 乌拉儿山脉 2026-03-30 7/350 2026-04-05 10:32 by zhq0425
[考研] 081700化学工程与技术 一志愿中海洋 323 求调剂学校 +16 披星河 2026-04-03 16/800 2026-04-05 09:00 by dick_runner
[考研] 26考研调剂0710 0860 +9 补补不补 2026-04-03 14/700 2026-04-04 23:32 by 果冻大王
[考研] 266分,一志愿电气工程,本科材料,求材料专业调剂 +11 哇呼哼呼哼 2026-04-01 12/600 2026-04-04 23:17 by 永字号
[考研] 286求调剂 +3 草木不言 2026-04-04 3/150 2026-04-04 22:40 by lbsjt
[考研] 本科211 分数293请求调剂 +4 莲菜就是藕吧 2026-04-01 4/200 2026-04-04 22:32 by hemengdong
[考研] 292分,材料与化工,申请调剂 +22 程晴之 2026-04-01 26/1300 2026-04-04 22:03 by hemengdong
[考研] 282电子信息0854专硕调剂 +4 202451007219 2026-04-02 6/300 2026-04-04 21:55 by laoshidan
[考研] 一志愿085404,总分291,四级已过,求调剂 +5 阿俊阿俊阿俊 2026-04-04 7/350 2026-04-04 13:23 by 莲菜就是藕吧
[考研] 求生物学专业调剂-332分 +5 云朵遛弯指南 2026-04-04 5/250 2026-04-04 10:05 by rzh123456
[考研] 求调剂 +3 wos666 2026-04-03 3/150 2026-04-04 05:16 by gswylq
[考研] 考研调剂 +8 不爱喝饮料 2026-04-03 8/400 2026-04-03 16:40 by Mistake-J
[考研] 285求调剂 +6 FZAC123 2026-03-30 6/300 2026-04-03 12:22 by xingguangj
[考研] 一志愿南开大学0710生物学359求调剂 +6 兔兔兔111223314 2026-03-29 8/400 2026-04-02 22:37 by louise0220
[考研] 08生物与医药专硕初试346找调剂 +6 dianeeee 2026-04-01 7/350 2026-04-02 08:23 by guoweigw
[考研] 材料与化工(0856)304求B区调剂 +8 邱gl 2026-03-30 16/800 2026-04-01 17:58 by 邱gl
[考研] 一志愿 南京航空航天大学 ,080500材料科学与工程学硕 +10 @taotao 2026-03-31 11/550 2026-04-01 09:43 by xiayizhi
信息提示
请填处理意见