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rulily1984木虫 (小有名气)
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【求助已完结】真空计的跳变问题
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【求助已完结】磁控溅射时为什么真空计会突然跳跃 在进行磁控溅射（氧化铝靶）时，沉积大概一小时后真空计突然由0.5Pa跳到12Pa左右，很不稳定，有谁能从理论上解释一下原因。非常感谢 可能是样品台打火的原因，谢谢大家 [ Last edited by rulily1984 on 2010-11-3 at 10:12 ] |
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2楼2010-10-30 21:01:24
380677864
木虫 (正式写手)
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- 专业: 电工材料特性及其应用
3楼2010-10-30 22:12:48