应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助已完结】真空计的跳变问题
31/1返回列表
查看: 710  |  回复: 2
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

rulily1984

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助已完结】真空计的跳变问题

【求助已完结】磁控溅射时为什么真空计会突然跳跃

   在进行磁控溅射（氧化铝靶）时，沉积大概一小时后真空计突然由0.5Pa跳到12Pa左右，很不稳定，有谁能从理论上解释一下原因。非常感谢



可能是样品台打火的原因，谢谢大家

[ Last edited by rulily1984 on 2010-11-3 at 10:12 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2010-10-30 13:56:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haode22

金虫 (正式写手)
rulily1984(金币+1): 2010-11-03 10:10:30
引用回帖:
Originally posted by rulily1984 at 2010-10-30 13:56:15:
【求助】磁控溅射时为什么真空计会突然跳跃

   在进行磁控溅射（氧化铝靶）时，沉积大概一小时后真空计突然由0.5Pa跳到12Pa左右，很不稳定，有谁能从理论上解释一下原因。非常感谢

是一直这样跳动？
1.0.5Pa是电阻规测量，电磁干扰的可能性不大
2.电磁屏蔽不好，干扰气体阀门
赞一下 回复此楼
逐渐成为工作狂，技术狂.............
2楼2010-10-30 21:01:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

380677864

木虫 (正式写手)
rulily1984(金币+1): 2010-11-03 10:10:35
如果气流量进出不变的话，说明溅射室的压强应该是不变的，可能是楼上所说的电磁干扰。请问是每次实验都是这样吗？？你觉得溅射室是否发生了其它化学反应，有气体生成呢？
赞一下 回复此楼
3楼2010-10-30 22:12:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 rulily1984 的主题更新
31/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 3/150 2026-09-18 02:06 by cITaGg3p5edr
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 4/200 2026-09-18 01:54 by cITaGg3p5edr
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-18 00:28 by cITaGg3p5edr
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +7 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 8/400 2026-09-17 23:28 by cuPZTDXS3VOd
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 7/350 2026-09-17 22:51 by cuPZTDXS3VOd
[找工作] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 4/200 2026-09-17 22:39 by cuPZTDXS3VOd
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-17 22:29 by cuPZTDXS3VOd
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +8 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 9/450 2026-09-17 22:05 by cuPZTDXS3VOd
[基金申请] 国社科系统bug了，是不是要放榜了？ +5 kynobel 2026-09-16 6/300 2026-09-17 21:37 by tosogo
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 6/300 2026-09-17 14:17 by ObVzqQQh1rrE
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 40ms4Wlo4umh 2026-09-14 5/250 2026-09-17 14:05 by ObVzqQQh1rrE
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 23jxep3nCNZb 2026-09-14 4/200 2026-09-17 13:51 by ObVzqQQh1rrE
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 23jxep3nCNZb 2026-09-14 5/250 2026-09-17 13:29 by ObVzqQQh1rrE
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 yaCh4X3wd045 2026-09-14 4/200 2026-09-17 13:17 by ObVzqQQh1rrE
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 6/300 2026-09-17 03:14 by Tql5LQhh5rLK
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 3/150 2026-09-16 22:26 by Tql5LQhh5rLK
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-16 19:15 by rRvxEj3zorCy
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 7/350 2026-09-15 16:47 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-15 16:35 by CgyNCDVNhGVg
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 07:50 by C79jjtjAKjEn
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭