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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 测试表征 » 【求助】能谱扫描成分的深度是多少？？？
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woshihuaan

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】能谱扫描成分的深度是多少？？？

有一个零件（外面覆盖着MoS2涂层，大概5um），这个零件所用的金属材料我只能锁定几种，但不能确认是哪一种。想通过能谱在不破坏涂层的情况下，辨别零件所用的金属材料。大家觉得这样可行吗？？
大家还有其他好方法吗？？？
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1楼 2010-10-27 23:34:10
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82年的纯净水

金虫 (正式写手)
★
woshihuaan(金币+1): 2010-10-30 10:36:53
jic8417(金币+1): 谢谢参与 2011-01-29 01:06:29
我也有一个零件，不过我当时是测金属上的涂层的成分的，测试结果发现涂层是二硫化钼，呵呵。会不会和你是一个零件啊?
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5楼2010-10-28 12:25:01
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yin18

银虫 (小有名气)
★
woshihuaan(金币+1): 2010-10-28 22:27:55
jic8417(金币+1): 谢谢参与 2011-01-29 01:06:21
扫描电镜的激发下特征X射线的深度约是100-1000nm，其激发体积约10um^3。所以显然对于你的涂层来说是不行的。一般认为X射线深度不超过0.02mm，所以具体能不能做XRD也需要实践证明。
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厚积薄发
3楼2010-10-28 08:45:04
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wolfliu

木虫 (著名写手)

自信，诚信，求实，方法。
★
woshihuaan(金币+1): 2010-10-28 22:27:03
jic8417(金币+1): 谢谢参与 2011-01-29 01:06:25
Q :用SEM中的EDS做元素面扫描，其反映的是多少深度的信息？
RE:分析深度取决于样品本性和选用的参数，不同的加速电压，穿透深度不一样，电压越高，X射线激发深度越深 ,通常5KV一个单位入射深度2-3个mirc. 电压强度越高入射深度越强. 轻元素比较深，重元素相对较浅。具体书上有公式计算。和加速电压，元素的吸收系数等有关系。一般在几微米左右，重元素可能在几百纳米。
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不以求备取人，不以己长格物。
4楼2010-10-28 08:49:50
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tidegoo

铜虫 (小有名气)
★
woshihuaan(金币+3): 2010-12-16 21:02:32
jic8417(金币+1): 谢谢参与 2011-01-29 01:06:33
据说网上有一个蒙特卡罗模拟的程序，可以计算出穿透的深度及体积，你可以搜一下，另外我觉得EDS应该测不出来你那么厚的膜
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6楼2010-12-16 20:44:32
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