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woshihuaan

银虫 (小有名气)

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虫号: 765918
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专业: 金属结构材料

[交流] 【求助】能谱扫描成分的深度是多少？？？

有一个零件（外面覆盖着MoS2涂层，大概5um），这个零件所用的金属材料我只能锁定几种，但不能确认是哪一种。想通过能谱在不破坏涂层的情况下，辨别零件所用的金属材料。大家觉得这样可行吗？？
大家还有其他好方法吗？？？

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1楼 2010-10-27 23:34:10

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wolfliu

木虫 (著名写手)

自信，诚信，求实，方法。

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专业: 金属材料的制备科学与跨学

★
woshihuaan(金币+1): 2010-10-28 22:27:03
jic8417(金币+1): 谢谢参与 2011-01-29 01:06:25

Q :用SEM中的EDS做元素面扫描，其反映的是多少深度的信息？
RE:分析深度取决于样品本性和选用的参数，不同的加速电压，穿透深度不一样，电压越高，X射线激发深度越深 ,通常5KV一个单位入射深度2-3个mirc. 电压强度越高入射深度越强. 轻元素比较深，重元素相对较浅。具体书上有公式计算。和加速电压，元素的吸收系数等有关系。一般在几微米左右，重元素可能在几百纳米。