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【求助】用XPS测不同深度下各元素的相对含量时,Ar刻蚀的问题
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zhlhuang
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性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功
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【求助】用XPS测不同深度下各元素的相对含量时,Ar刻蚀的问题
一般的陶瓷材料,刻蚀7个微米大概要多久?
请教大家!
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2010-09-24 23:47:33
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