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[交流]
【求助】晚辈请教各位前辈:关于ZMO:Al导电膜的制备问题 已有3人参与
我出来乍到,没击毙送给各位啊,但是还是请大家帮帮忙!
要用磁控溅射法来做ZMO:Al导电薄膜,自己烧制的靶材(2英寸)电阻太该太高!不知道能不能用!现在想用MgZnO靶材和Al金属靶材双靶溅射来做!但是不知道Al的组分怎么来调节啊?各位给我指点迷津啊!先谢谢了 |
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