[交流] 【求助】晚辈请教各位前辈：关于ZMO：Al导电膜的制备问题已有3人参与

我出来乍到，没击毙送给各位啊，但是还是请大家帮帮忙！
要用磁控溅射法来做ZMO：Al导电薄膜，自己烧制的靶材（2英寸）电阻太该太高！不知道能不能用！现在想用MgZnO靶材和Al金属靶材双靶溅射来做！但是不知道Al的组分怎么来调节啊？各位给我指点迷津啊！先谢谢了

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1楼2010-09-06 15:06:52

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cxy541659331

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引用回帖:

Originally posted by chinalczm at 2010-09-07 08:42:01:
调节组分应该是很关键的，楼主可以参考相关文献看看啊。

我现在是做的MgZnO:Al的混合靶材，自己做的，不知道什么原因，做出来的不像文献中所说电阻率很低，而是极高极高！做出来的膜也是电阻率非常高，有十的六次方那么高！我真的不知道该怎么办了！
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