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【求助】晚辈请教各位前辈：关于ZMO：Al导电膜的制备问题 已有3人参与
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我出来乍到，没击毙送给各位啊，但是还是请大家帮帮忙！ 要用磁控溅射法来做ZMO：Al导电薄膜，自己烧制的靶材（2英寸）电阻太该太高！不知道能不能用！现在想用MgZnO靶材和Al金属靶材双靶溅射来做！但是不知道Al的组分怎么来调节啊？各位给我指点迷津啊！先谢谢了 |
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我现在是做的MgZnO:Al的混合靶材，自己做的，不知道什么原因，做出来的不像文献中所说电阻率很低，而是极高极高！做出来的膜也是电阻率非常高，有十的六次方那么高！我真的不知道该怎么办了！ 本文来自: 小木虫论坛 http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=2370116&pid=109304&page=1#pid109304 |
6楼2010-09-09 14:55:43
BK2008
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
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- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2010-09-06 19:05:19
3楼2010-09-07 08:38:35
chinalczm
金虫 (著名写手)
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- 性别: MM
- 专业: 半导体材料
4楼2010-09-07 08:42:01
