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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】晚辈请教各位前辈：关于ZMO：Al导电膜的制备问题
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cxy541659331

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】晚辈请教各位前辈：关于ZMO：Al导电膜的制备问题 已有3人参与

我出来乍到，没击毙送给各位啊，但是还是请大家帮帮忙！
要用磁控溅射法来做ZMO：Al导电薄膜，自己烧制的靶材（2英寸）电阻太该太高！不知道能不能用！现在想用MgZnO靶材和Al金属靶材双靶溅射来做！但是不知道Al的组分怎么来调节啊？各位给我指点迷津啊！先谢谢了
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1楼 2010-09-06 15:06:52
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BK2008

木虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+2):3q 2010-09-08 15:34:43
控制铝靶的溅射功率看看
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2010-09-06 19:05:19
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