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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】真空镀膜机如何清洗？
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zck1214

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】真空镀膜机如何清洗？ 已有6人参与

打算借用别的实验室的真空蒸发镀膜机，可是人家怕被污染了。要我们拿出个方案如何清洗。请教各位，大家平时用的时候都是怎么清洗的呀？
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Interfacestudy,electrolytes,electrochemicalenergystroage
1楼 2010-08-24 14:53:32
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech
★ ★ ★ ★
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小木虫:)(金币+3):3q 2010-08-25 17:29:09
可以对一些挡板，基片台，靶材等位置拆卸下来做喷砂处理。
腔体拆卸下来也可以喷砂，在做抛光处理
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材料分析测试技术群：101717240。
2楼2010-08-24 15:49:40
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zck1214

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by wudong863 at 2010-08-24 15:49:40:
可以对一些挡板，基片台，靶材等位置拆卸下来做喷砂处理。
腔体拆卸下来也可以喷砂，在做抛光处理

楼上说的是不是蒸发金属后的处理呀，是不是像有机物就可以不用这样了呀？
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Interfacestudy,electrolytes,electrochemicalenergystroage
3楼2010-08-24 19:17:19
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★
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小木虫:)(金币+3):3q 2010-08-25 17:29:23
有机物更需要仔细清洗，残留的东西影响更大。
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4楼2010-08-25 01:24:39
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zck1214

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by cord at 2010-08-25 01:24:39:
有机物更需要仔细清洗，残留的东西影响更大。

有没有有机物通用的清洗方法呀？谢谢！
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Interfacestudy,electrolytes,electrochemicalenergystroage
5楼2010-08-25 09:49:15
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baboonc

金虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫:)(金币+3):3q 2010-08-25 17:29:27
有机物更需要仔细清洗，残留的东西影响更大
本文来自: 小木虫论坛 http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=2328557&fpage=1
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好好学习～天天向上～
6楼2010-08-25 14:56:04
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riverguo

木虫 (正式写手)
★
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有机物熔点低，更易引起污染。要根据具体的有机物材料，提出清洗方案。
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7楼2010-08-26 08:08:33
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qustlixian

金虫 (正式写手)
★
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我们是蒸完以后，把石英舟都拿出来，然后抽真空把用过的源都再加热烧一边就可以啦
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8楼2010-08-26 08:22:11
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zck1214

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by riverguo at 2010-08-26 08:08:33:
有机物熔点低，更易引起污染。要根据具体的有机物材料，提出清洗方案。

谢谢！
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9楼2010-08-26 08:24:05
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zck1214

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by qustlixian at 2010-08-26 08:22:11:
我们是蒸完以后，把石英舟都拿出来，然后抽真空把用过的源都再加热烧一边就可以啦

谢谢！
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10楼2010-08-26 08:24:18
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