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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】真空镀膜机如何清洗？
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zck1214

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】真空镀膜机如何清洗？ 已有6人参与

打算借用别的实验室的真空蒸发镀膜机，可是人家怕被污染了。要我们拿出个方案如何清洗。请教各位，大家平时用的时候都是怎么清洗的呀？
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Interfacestudy,electrolytes,electrochemicalenergystroage
1楼 2010-08-24 14:53:32
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zck1214

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by wudong863 at 2010-08-24 15:49:40:
可以对一些挡板，基片台，靶材等位置拆卸下来做喷砂处理。
腔体拆卸下来也可以喷砂，在做抛光处理

楼上说的是不是蒸发金属后的处理呀，是不是像有机物就可以不用这样了呀？
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Interfacestudy,electrolytes,electrochemicalenergystroage
3楼2010-08-24 19:17:19
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3):3q 2010-08-25 17:29:09
可以对一些挡板，基片台，靶材等位置拆卸下来做喷砂处理。
腔体拆卸下来也可以喷砂，在做抛光处理
赞一下(3人) 回复此楼
材料分析测试技术群：101717240。
2楼2010-08-24 15:49:40
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3):3q 2010-08-25 17:29:23
有机物更需要仔细清洗，残留的东西影响更大。
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2010-08-25 01:24:39
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zck1214

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by cord at 2010-08-25 01:24:39:
有机物更需要仔细清洗，残留的东西影响更大。

有没有有机物通用的清洗方法呀？谢谢！
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Interfacestudy,electrolytes,electrochemicalenergystroage
5楼2010-08-25 09:49:15
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