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zck1214

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】真空镀膜机如何清洗?已有6人参与

打算借用别的实验室的真空蒸发镀膜机,可是人家怕被污染了。要我们拿出个方案如何清洗。请教各位,大家平时用的时候都是怎么清洗的呀?
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Interfacestudy,electrolytes,electrochemicalenergystroage
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zck1214

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by qustlixian at 2010-08-26 08:22:11:
我们是蒸完以后,把石英舟都拿出来,然后抽真空把用过的源都再加热烧一边就可以啦

谢谢!
Interfacestudy,electrolytes,electrochemicalenergystroage
10楼2010-08-26 08:24:18
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech

★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3):3q 2010-08-25 17:29:09
可以对一些挡板,基片台,靶材等位置拆卸下来做喷砂处理。
腔体拆卸下来也可以喷砂,在做抛光处理
材料分析测试技术群:101717240。
2楼2010-08-24 15:49:40
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zck1214

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by wudong863 at 2010-08-24 15:49:40:
可以对一些挡板,基片台,靶材等位置拆卸下来做喷砂处理。
腔体拆卸下来也可以喷砂,在做抛光处理

楼上说的是不是蒸发金属后的处理呀,是不是像有机物就可以不用这样了呀?
Interfacestudy,electrolytes,electrochemicalenergystroage
3楼2010-08-24 19:17:19
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3):3q 2010-08-25 17:29:23
有机物更需要仔细清洗,残留的东西影响更大。
4楼2010-08-25 01:24:39
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