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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 信息科学 » 电子科学 » 【求助】晶体管中SiO2到底起一些什么作用
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weizhiyong

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】晶体管中SiO2到底起一些什么作用 已有9人参与

我们都知道做CPU芯片主要是使用单晶硅做的。除了硅之外还有一些金属做互联线，如早期的Al，目前的主流Cu。

最近看CPU的制造工艺，好像还要把硅氧化成非晶二氧化硅，来作门极。不是太了解。我觉二氧化硅应该是来做为绝缘层的吧？作门极是什么意识？而且为什么么要用非晶二氧化硅呢？为什么不用晶体二氧化硅呢？
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1楼 2010-08-12 10:34:55
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dblu985

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
很有意义，大家发言啊
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2楼2010-08-15 23:59:52
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weizhiyong

金虫 (正式写手)
这里没有人懂这个嘛？
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3楼2010-08-16 08:47:51
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无奈的云

木虫 (著名写手)

科技信息经理

优秀版主
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
懂这些的人还是有的，只是没有发现这个帖子而已~~

楼主稍安勿躁~
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欢迎各位技术工作者提供技科学术转化信息线索！
4楼2010-08-16 11:29:54
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xuhong929

银虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你应该去问学物理的。。。。
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5楼2010-08-16 13:36:44
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kokozheng

铜虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
无奈的云(金币+2):感谢热心解答~ 2010-08-24 10:41:38
我们一般见到的单个的晶体管多数是双极型的晶体管（BJT），而现在超大规模集成电路（ULSI）无一例外的使用MOS结构的晶体管（MOSFET）。而MOSFET的工作基础就是Metal（polysilicon也可）/Oxide（电介质）/Semicondutor 结构，在metal上加电压同过MOS电容在semicondutor处耦合出电荷，而形成导电通路。感兴趣可以搜下MOS结构。
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6楼2010-08-24 09:06:36
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kokozheng

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
二氧化硅也叫oxide，在MOS制作中无处不在，由于特性的差异，都是用无定形的SiO，没有用晶体二氧化硅的。
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7楼2010-08-24 09:10:09
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weizhiyong

金虫 (正式写手)
[quote]Originally posted by kokozheng at 2010-08-24 09:10:09:
二氧化硅也叫oxide，在MOS制作中无处不在，由于特性的差异，都是用无定形的SiO，没有用晶体二氧化硅的。
请楼上的详细解释一下，什么是特性的差异？所以必须使用非晶的。
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8楼2010-08-24 09:21:37
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匿名

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
无奈的云(金币+1):感谢热心解答~ 2010-08-26 11:36:48
本帖仅楼主可见
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9楼2010-08-26 08:18:10
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有风无雨

金虫 (正式写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
mze04532: 金币+2, 老帖子了，鼓励热心~ 2013-03-04 22:12:04
门极就是gate，在MOSFET中一般M（metal）担当gate的作用，通过调节gate（门极）和source（源极）两极间的电压，以实现控制源漏极间电流的目的，所以gate相当于一个开关，栅门，所以被称为栅极或门极。
有用高掺杂低阻高晶硅做gate的，应为经过高掺杂以后，硅具有了类似金属的性质，导电性很好，但没看见用SiO2做gate的啊，如你所说，SiO2一般是绝缘层啊！
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10楼2013-02-27 11:03:40
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