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weizhiyong

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】晶体管中SiO2到底起一些什么作用已有9人参与

我们都知道做CPU芯片主要是使用单晶硅做的。除了硅之外还有一些金属做互联线,如早期的Al,目前的主流Cu。

最近看CPU的制造工艺,好像还要把硅氧化成非晶二氧化硅,来作门极。不是太了解。我觉二氧化硅应该是来做为绝缘层的吧?作门极是什么意识?而且为什么么要用非晶二氧化硅呢?为什么不用晶体二氧化硅呢?
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dblu985

铜虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
很有意义,大家发言啊
2楼2010-08-15 23:59:52
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weizhiyong

金虫 (正式写手)

这里没有人懂这个嘛?
3楼2010-08-16 08:47:51
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无奈的云

木虫 (著名写手)

科技信息经理

优秀版主


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
懂这些的人还是有的,只是没有发现这个帖子而已~~

楼主稍安勿躁~
欢迎各位技术工作者提供技科学术转化信息线索!
4楼2010-08-16 11:29:54
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xuhong929

银虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
你应该去问学物理的。。。。
5楼2010-08-16 13:36:44
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kokozheng

铜虫 (小有名气)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
无奈的云(金币+2):感谢热心解答~ 2010-08-24 10:41:38
我们一般见到的单个的晶体管多数是双极型的晶体管(BJT),而现在超大规模集成电路(ULSI)无一例外的使用MOS结构的晶体管(MOSFET)。而MOSFET的工作基础就是Metal(polysilicon也可)/Oxide(电介质)/Semicondutor 结构,在metal上加电压同过MOS电容在semicondutor处耦合出电荷,而形成导电通路。感兴趣可以搜下MOS结构。
6楼2010-08-24 09:06:36
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kokozheng

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
二氧化硅也叫oxide,在MOS制作中无处不在,由于特性的差异,都是用无定形的SiO,没有用晶体二氧化硅的。
7楼2010-08-24 09:10:09
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weizhiyong

金虫 (正式写手)

[quote]Originally posted by kokozheng at 2010-08-24 09:10:09:
二氧化硅也叫oxide,在MOS制作中无处不在,由于特性的差异,都是用无定形的SiO,没有用晶体二氧化硅的。
请楼上的详细解释一下,什么是特性的差异?所以必须使用非晶的。
8楼2010-08-24 09:21:37
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匿名

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
无奈的云(金币+1):感谢热心解答~ 2010-08-26 11:36:48
本帖仅楼主可见
9楼2010-08-26 08:18:10
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有风无雨

金虫 (正式写手)

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
mze04532: 金币+2, 老帖子了,鼓励热心~ 2013-03-04 22:12:04
门极就是gate,在MOSFET中一般M(metal)担当gate的作用,通过调节gate(门极)和source(源极)两极间的电压,以实现控制源漏极间电流的目的,所以gate相当于一个开关,栅门,所以被称为栅极或门极。
有用高掺杂低阻高晶硅做gate的,应为经过高掺杂以后,硅具有了类似金属的性质,导电性很好,但没看见用SiO2做gate的啊,如你所说,SiO2一般是绝缘层啊!
10楼2013-02-27 11:03:40
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