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weizhiyong

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】晶体管中SiO2到底起一些什么作用 已有9人参与

我们都知道做CPU芯片主要是使用单晶硅做的。除了硅之外还有一些金属做互联线,如早期的Al,目前的主流Cu。

最近看CPU的制造工艺,好像还要把硅氧化成非晶二氧化硅,来作门极。不是太了解。我觉二氧化硅应该是来做为绝缘层的吧?作门极是什么意识?而且为什么么要用非晶二氧化硅呢?为什么不用晶体二氧化硅呢?
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kokozheng

铜虫 (小有名气)

★ ★ ★
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无奈的云(金币+2):感谢热心解答~ 2010-08-24 10:41:38
我们一般见到的单个的晶体管多数是双极型的晶体管(BJT),而现在超大规模集成电路(ULSI)无一例外的使用MOS结构的晶体管(MOSFET)。而MOSFET的工作基础就是Metal(polysilicon也可)/Oxide(电介质)/Semicondutor 结构,在metal上加电压同过MOS电容在semicondutor处耦合出电荷,而形成导电通路。感兴趣可以搜下MOS结构。
6楼2010-08-24 09:06:36
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kokozheng

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
二氧化硅也叫oxide,在MOS制作中无处不在,由于特性的差异,都是用无定形的SiO,没有用晶体二氧化硅的。
7楼2010-08-24 09:10:09
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