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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 信息科学 » 电子科学 » 【求助】晶体管中SiO2到底起一些什么作用
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weizhiyong

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】晶体管中SiO2到底起一些什么作用已有9人参与

我们都知道做CPU芯片主要是使用单晶硅做的。除了硅之外还有一些金属做互联线，如早期的Al，目前的主流Cu。

最近看CPU的制造工艺，好像还要把硅氧化成非晶二氧化硅，来作门极。不是太了解。我觉二氧化硅应该是来做为绝缘层的吧？作门极是什么意识？而且为什么么要用非晶二氧化硅呢？为什么不用晶体二氧化硅呢？
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1楼2010-08-12 10:34:55
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weizhiyong

金虫 (正式写手)
这里没有人懂这个嘛？
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3楼2010-08-16 08:47:51
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weizhiyong

金虫 (正式写手)
[quote]Originally posted by kokozheng at 2010-08-24 09:10:09:
二氧化硅也叫oxide，在MOS制作中无处不在，由于特性的差异，都是用无定形的SiO，没有用晶体二氧化硅的。
请楼上的详细解释一下，什么是特性的差异？所以必须使用非晶的。
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8楼2010-08-24 09:21:37
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