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nanate金虫 (小有名气)
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[交流]
【求助】硅薄膜制备出现粉末 已有2人参与
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大家好！ 用SiCl4作为硅源制备硅薄膜的时候（采用电容耦合PECVD），在射频电极上出现了黄色的粉末。从观察镜中可以看出，在开腔门之前没有粉末状，电极很干净；但是一开炉门玻璃基片和射频电极出现了黄色粉末，得不到硅薄膜，不知是什么原因，希望有高手能给点意见。谢谢了！！ |
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2楼2010-07-23 08:21:04
nanate
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8楼2010-08-13 15:00:23
nanate
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