| 查看: 679 | 回复: 8 | |||
nanate金虫 (小有名气)
|
[交流]
【求助】硅薄膜制备出现粉末 已有2人参与
|
|
大家好！ 用SiCl4作为硅源制备硅薄膜的时候（采用电容耦合PECVD），在射频电极上出现了黄色的粉末。从观察镜中可以看出，在开腔门之前没有粉末状，电极很干净；但是一开炉门玻璃基片和射频电极出现了黄色粉末，得不到硅薄膜，不知是什么原因，希望有高手能给点意见。谢谢了！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有134人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
-
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化工学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高-每届发展好
已经有0人回复
-
河北大学材料与化工专业研究生（专硕）招收调剂生
已经有0人回复
-
河北大学无机化学专业招收调剂生
已经有0人回复
-
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 硅基薄膜太阳电池概述
已经有60人回复
- 制备PLLA薄膜（40μm）左右 用于DSC, FTIR, WAXD等测试
已经有15人回复
- 硅基薄膜的窗口层
已经有9人回复
- 非晶硅薄膜太阳能电池新技术---铝诱导非晶晶化
已经有3人回复
- 硕士快要毕业了，文章还没投出去，硅薄膜方向，求助
已经有8人回复
- 【交流】硅基薄膜太阳电池
已经有4人回复
- 【求助】本征硅薄膜电极制备
已经有12人回复
- 【求助】微晶硅薄膜的XRD出现30度的衍射峰是什么原因
已经有8人回复
- 【求助】sol-gel制备NiZn铁氧体薄膜
已经有3人回复
2楼2010-07-23 08:21:04
nanate
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 290.5
- 散金: 30
- 帖子: 127
- 在线: 89.5小时
- 虫号: 525022
- 注册: 2008-03-14
- 性别: GG
- 专业: 材料
3楼2010-07-23 08:44:23
4楼2010-07-23 09:02:17
nanate
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 290.5
- 散金: 30
- 帖子: 127
- 在线: 89.5小时
- 虫号: 525022
- 注册: 2008-03-14
- 性别: GG
- 专业: 材料
5楼2010-08-11 20:23:53
nanate(金币+5): 2010-08-13 13:33:35
|
本帖内容被屏蔽 |
6楼2010-08-12 11:41:57
nanate
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 290.5
- 散金: 30
- 帖子: 127
- 在线: 89.5小时
- 虫号: 525022
- 注册: 2008-03-14
- 性别: GG
- 专业: 材料
7楼2010-08-13 13:34:50
nanate(金币+1):5 2010-08-17 08:47:58
|
本帖内容被屏蔽 |
8楼2010-08-13 15:00:23
nanate
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 290.5
- 散金: 30
- 帖子: 127
- 在线: 89.5小时
- 虫号: 525022
- 注册: 2008-03-14
- 性别: GG
- 专业: 材料
9楼2010-08-17 08:50:55
