应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【求助】硅薄膜制备出现粉末
51/1返回列表
查看: 641  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

nanate

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】硅薄膜制备出现粉末 已有2人参与

大家好！
   用SiCl4作为硅源制备硅薄膜的时候（采用电容耦合PECVD），在射频电极上出现了黄色的粉末。从观察镜中可以看出，在开腔门之前没有粉末状，电极很干净；但是一开炉门玻璃基片和射频电极出现了黄色粉末，得不到硅薄膜，不知是什么原因，希望有高手能给点意见。谢谢了！！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2010-07-22 19:32:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nanate

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by dashen at 2010-08-12 11:41:57:
我之前用SiH2Cl2做过硅薄膜，样品刚取出来的时候是一层膜，但几秒甚至更短的时间会团聚呈颗粒或者粉末，不知是否这样的？

是啊！就是这相同的问题，你认为是什么原因呢？请给点意见，谢谢？
赞一下 回复此楼
7楼2010-08-13 13:34:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

chunchun3111

nanate(金币+5): 2010-07-23 08:44:39
是没有成膜的原因吧
赞一下 回复此楼
2楼2010-07-23 08:21:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nanate

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by chunchun3111 at 2010-07-23 08:21:04:
是没有成膜的原因吧

但是在开炉门前是有薄膜生成的，为什么开了炉门后就变成粉末状了呢？
赞一下 回复此楼
3楼2010-07-23 08:44:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chunchun3111

nanate(金币+1): 2010-07-23 09:06:59
我用的是HWCVD做的，用的是SiH4，如果彻底温度低的话就容易不成膜，和你的可能不太一样吧
赞一下 回复此楼
4楼2010-07-23 09:02:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭