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【讨论】大家测定200nm左右厚度薄膜成分都用什么方法？有没试过XRF的？ 已有2人参与
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如题，基底为LiTaO3，想测定薄膜的成分，薄膜大约厚200nm，用什么方法比较准确呢？ XRF行不行？ |
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