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r9arrow

金虫 (小有名气)

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[交流] 【讨论】大家测定200nm左右厚度薄膜成分都用什么方法？有没试过XRF的？已有2人参与

如题，基底为LiTaO3，想测定薄膜的成分，薄膜大约厚200nm，用什么方法比较准确呢？

XRF行不行？

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气相测定环氧乙烷，已经有3人回复

突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意

1楼2010-07-21 09:32:36

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睁不开眼的狼

金虫 (小有名气)

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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
guxue(金币+1):鼓励交流 2010-07-21 11:35:40

没听过xrf XRD应该就可以的

赞一下(2人)

2楼2010-07-21 10:33:09

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418783132

木虫 (著名写手)

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★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
化学小工(金币+1):同意能谱的确是分析成分的主要工具 2010-07-21 15:20:51

打能谱好点

努力不一定成功，放弃一定失败

3楼2010-07-21 12:29:22

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