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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】正性光刻胶溶于碱性溶液？？？
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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】正性光刻胶溶于碱性溶液？？？ 已有10人参与

我用正胶进行光刻，没有曝光的光刻胶溶于碱性溶液吗？？？如果溶，那么后续工艺如何处理？？？
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微信公众号：zajiadabing
1楼 2010-07-17 15:28:43
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
显影液体是碱性的,正胶没有曝光的地方会溶掉，被挡掩膜板挡住的地方不会溶掉
赞一下 回复此楼
我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
16楼2014-11-28 21:32:03
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zccken

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yunruirui(金币+1):谢谢交流回帖，欢迎常来 2010-07-17 17:55:54
曝光的地方会发生交联，就不溶于碱性溶液了
不曝光的地方可以溶于碱性溶液
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2楼2010-07-17 17:00:03
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by zccken at 2010-07-17 17:00:03:
曝光的地方会发生交联，就不溶于碱性溶液了
不曝光的地方可以溶于碱性溶液

正胶是这样么？
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微信公众号：zajiadabing
3楼2010-07-18 07:49:40
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
需要仔细了解光刻工艺   这个是很成熟

曝光后通常显影的时间很短，显影液通常是碱性
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2010-07-20 09:10:17
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