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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 【求助】PZT薄膜电极的做法
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洒洒水

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PZT薄膜电极的做法 已有6人参与

刚开始做PZT薄膜请教一个问题，测量薄膜的电滞回线时，点电极怎么做，是在钛板上沉积的，是直接上面做一个点电极，下面用钛导电可以吗，谢谢
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1楼 2010-05-20 20:32:10
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silveruranus

铁虫 (正式写手)
★
csuhcb2000(金币+1):鼓励交流 2010-05-27 08:08:13
引用回帖:
Originally posted by liucq2002 at 2010-05-26 09:22:15:
通常基底是镀有Pt的硅片，这里的Pt就是底电极。上电极可用掩膜来做，所谓的掩膜就是有很多小孔的金属片，然后用卡具(自己根据实际情况设计)将其固定于样品之上，这样沉积上电极的时候就可以形成点状——上电极也通 ...

想弄个掩膜版也很简单，一种方法是找人加工，或者用光刻腐蚀的办法做，还有就是自己找块铜板拿针扎，呵呵，针扎大概3-4个小时做一个吧。
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5楼2010-05-26 23:18:16
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silveruranus

铁虫 (正式写手)
★ ★
csuhcb2000(金币+1):鼓励交流 2010-05-25 08:01:17
guxue(金币+1):鼓励交流 2010-05-25 08:57:13
你的Ti是导电的吗？一般都是做到Pt上或者是导电氧化物上的啊，比如SRO，IrO2和LNO
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2楼2010-05-24 13:15:24
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洒洒水

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by silveruranus at 2010-05-24 13:15:24:
你的Ti是导电的吗？一般都是做到Pt上或者是导电氧化物上的啊，比如SRO，IrO2和LNO

具体的点电极怎么做？
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3楼2010-05-24 21:00:59
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liucq2002

木虫 (正式写手)
★ ★
csuhcb2000(金币+2):鼓励交流 2010-05-26 10:48:15
通常基底是镀有Pt的硅片，这里的Pt就是底电极。上电极可用掩膜来做，所谓的掩膜就是有很多小孔的金属片，然后用卡具(自己根据实际情况设计)将其固定于样品之上，这样沉积上电极的时候就可以形成点状——上电极也通常用Pt。不知道我说的是否明白，呵呵。
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4楼2010-05-26 09:22:15
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