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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 【求助】PZT薄膜电极的做法
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洒洒水

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PZT薄膜电极的做法 已有6人参与

刚开始做PZT薄膜请教一个问题，测量薄膜的电滞回线时，点电极怎么做，是在钛板上沉积的，是直接上面做一个点电极，下面用钛导电可以吗，谢谢
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1楼 2010-05-20 20:32:10
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silveruranus

铁虫 (正式写手)
★ ★
csuhcb2000(金币+1):鼓励交流 2010-05-25 08:01:17
guxue(金币+1):鼓励交流 2010-05-25 08:57:13
你的Ti是导电的吗？一般都是做到Pt上或者是导电氧化物上的啊，比如SRO，IrO2和LNO
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2楼2010-05-24 13:15:24
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洒洒水

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by silveruranus at 2010-05-24 13:15:24:
你的Ti是导电的吗？一般都是做到Pt上或者是导电氧化物上的啊，比如SRO，IrO2和LNO

具体的点电极怎么做？
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3楼2010-05-24 21:00:59
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liucq2002

木虫 (正式写手)
★ ★
csuhcb2000(金币+2):鼓励交流 2010-05-26 10:48:15
通常基底是镀有Pt的硅片，这里的Pt就是底电极。上电极可用掩膜来做，所谓的掩膜就是有很多小孔的金属片，然后用卡具(自己根据实际情况设计)将其固定于样品之上，这样沉积上电极的时候就可以形成点状——上电极也通常用Pt。不知道我说的是否明白，呵呵。
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4楼2010-05-26 09:22:15
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silveruranus

铁虫 (正式写手)
★
csuhcb2000(金币+1):鼓励交流 2010-05-27 08:08:13
引用回帖:
Originally posted by liucq2002 at 2010-05-26 09:22:15:
通常基底是镀有Pt的硅片，这里的Pt就是底电极。上电极可用掩膜来做，所谓的掩膜就是有很多小孔的金属片，然后用卡具(自己根据实际情况设计)将其固定于样品之上，这样沉积上电极的时候就可以形成点状——上电极也通 ...

想弄个掩膜版也很简单，一种方法是找人加工，或者用光刻腐蚀的办法做，还有就是自己找块铜板拿针扎，呵呵，针扎大概3-4个小时做一个吧。
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5楼2010-05-26 23:18:16
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洒洒水

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by silveruranus at 2010-05-26 23:18:16:


想弄个掩膜版也很简单，一种方法是找人加工，或者用光刻腐蚀的办法做，还有就是自己找块铜板拿针扎，呵呵，针扎大概3-4个小时做一个吧。

那具体的点电极的大小是怎么确定的呢，谢谢
能QQ或许其他方式给你交流吗
我的QQ
82532994
邮箱：zhenluhe@163.com
电话：15850675377
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6楼2010-05-28 15:33:58
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silveruranus

铁虫 (正式写手)
★
csuhcb2000(金币+1):鼓励交流 2010-05-31 20:05:32
引用回帖:
Originally posted by 洒洒水 at 2010-05-28 15:33:58:

那具体的点电极的大小是怎么确定的呢，谢谢
能QQ或许其他方式给你交流吗
我的QQ
82532994
邮箱：zhenluhe@163.com
电话：15850675377

我想你最好是找人去做，那样可确定电极面积，要是自己扎的话，不好确定面积的。
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7楼2010-05-28 16:49:17
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liucq2002

木虫 (正式写手)
★ ★
csuhcb2000(金币+2):说的好。鼓励交流 2010-05-31 20:05:40
虽然说掩膜上的孔可通过加工自己确定大小，但实际沉积得到的电极通常要比这个孔要大，所以不能按照掩膜上的孔来确定最终电极的大小。实际确定电极面积确定也很很简单，用奥林巴斯照个照片自己算一下就行了，当然也可以在工具显微镜下自己看，不过这样不太规范，呵呵。
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8楼2010-05-31 16:16:28
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silveruranus

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by liucq2002 at 2010-05-31 16:16:28:
虽然说掩膜上的孔可通过加工自己确定大小，但实际沉积得到的电极通常要比这个孔要大，所以不能按照掩膜上的孔来确定最终电极的大小。实际确定电极面积确定也很很简单，用奥林巴斯照个照片自己算一下就行了，当然也 ...

我想问下，你照了照片，然后怎么量呢？标尺怎么搞呢？
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9楼2010-05-31 21:03:56
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liucq2002

木虫 (正式写手)
★
csuhcb2000(金币+1):鼓励交流 2010-06-01 08:40:05
引用回帖:
Originally posted by silveruranus at 2010-05-31 21:03:56:

我想问下，你照了照片，然后怎么量呢？标尺怎么搞呢？

我说的是奥林巴斯数码显微镜，放大倍数和标尺都可以知道的，你可以具体咨询操作设备的人，会比我说的更详细。
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10楼2010-06-01 08:00:42
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